我公司拥有所有研究报告产品的著作权，我们从未通过任何第三方平台代理销售或授权其开展业务咨询。当您购买报告或咨询业务时，请认准“博研咨询”，及官方网站市场调研在线（www.cninfo360.com）。若要进行引用、刊发，需要获得博研咨询的正式授权。
- 报告目录
- 研究方法
半导体流量计是一种专门用于测量和控制半导体制造过程中气体或液体流量的精密仪器。它广泛应用于化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）、蚀刻、清洗等关键工艺环节，对确保半导体器件的质量和性能具有重要作用。根据工作原理的不同，半导体流量计主要分为质量流量控制器（MFC）和科里奥利流量计等类型。2024年，中国半导体流量计市场规模达到约35.6亿元人民币，同比增长18.7%。这一增长主要得益于国内半导体产业的持续扩张以及国产化进程的加速推进。从市场需求结构来看，质量流量控制器占据主导地位，市场份额超过70%，而科里奥利流量计等其他类型产品则主要用于高精度场景，市场占比相对较小但增速较快。中国半导体流量计行业正处于快速发展阶段。一方面，随着全球半导体产业链向中国大陆转移，晶圆厂建设和产能扩张为流量计需求提供了强劲支撑；国家政策对半导体设备国产化的大力支持也推动了本土企业在技术研发和市场拓展方面的进步。值得注意的是，目前高端半导体流量计市场仍由国外品牌如美国Brooks、瑞士Endress Hauser等占据主导地位，国产品牌在技术成熟度和可靠性方面尚存在一定差距。从市场竞争格局来看，2024年中国半导体流量计市场中，外资企业占据了近75%的份额，其中Brooks以28%的市场份额位居第一。国内企业如A公司和B公司通过自主研发和技术引进逐步缩小与国际领先企业的差距，在中低端市场已具备较强的竞争力，并开始向高端领域渗透。部分初创型企业凭借灵活的产品定制能力和快速响应服务，也在特定细分市场中崭露头角。展望中国半导体流量计行业将呈现以下几个发展趋势：随着“十四五”规划的深入实施以及地方政府对集成电路产业的支持力度加大，预计到2028年，中国半导体流量计市场规模有望突破80亿元人民币，复合年增长率保持在15%左右。国产化率将进一步提升，尤其是在中端市场，国产品牌有望在未来三至五年内实现40%-50%的市占率目标。智能化将成为行业发展的重要方向，通过结合物联网、大数据分析等新兴技术，新一代半导体流量计将具备更高的自动化水平和更强的数据处理能力，从而更好地满足智能制造的需求。尽管前景乐观，但行业仍面临诸多挑战。例如，核心零部件如传感器和芯片的高度依赖进口限制了国产设备的性能优化；高昂的研发投入和较长的技术积累周期也对中小企业构成了较大压力。加强产学研合作、完善供应链体系以及培养专业技术人才将是推动行业健康发展的关键所在。中国半导体流量计行业正处于机遇与挑战并存的关键时期，其未来发展值得期待。
报告导读：
半导体流量计是专为半导体制造设计的高精度设备，用于精确测量和控制气体或液体流量。其核心特点是高精度（±0.5%FS以上）、耐腐蚀、宽量程（覆盖sccm至slm级）、快速响应（毫秒级），并满足半导体行业对流体纯净度和工艺稳定性的严苛要求。典型应用场景包括沉积、蚀刻、离子注入、清洗、CMP等设备，以及气体供应系统和立式炉/卧式炉等。半导体流量计作为半导体制造过程中的关键部件，广泛应用于气体与液体流量的精确控制。随着中国半导体产业的快速发展，芯片制造、封装测试等环节持续扩张，对高精度、高性能半导体流量计的需求不断增加。2024年，中国半导体流量计行业市场规模为12.3亿元，同比增长9.82%。中国半导体流量计行业呈现“龙头企业引领、细分领域分化、国产替代加速”的竞争格局。龙头企业如北京华丞电子、青岛芯笙微纳等在质量流量控制器（MFC）领域实现进口替代，市场占有率逐步提升。
基于此，依托博研咨询旗下半导体流量计行业研究团队深厚的市场洞察力，并结合多年调研数据与一线实战需求，博研咨询推出《2025-2031年中国半导体流量计行业市场动态分析及投资趋势研判报告》。本报告立足半导体流量计新视角，聚焦行业核心议题——变化趋势（怎么变）、用户需求（要什么）、投放选择（投向哪）、运营方法（如何投）及实践案例（看一看），期待携手行业伙伴，共谋行业发展新格局、新机遇，推动半导体流量计行业发展。
观点抢先知：
行业发展有利因素：政策支持是核心驱动力，“十四五”规划明确半导体产业链自主可控目标，推动国产设备研发。技术进步方面，MEMS技术、硅基传感器优化提升精度，AI算法与数字孪生技术实现工艺优化与能耗降低。市场需求方面，5G、AI、物联网等新兴技术推动集成电路需求激增，2025年1-8月中国集成电路产量达3429.1亿块，同比增长20.53%，直接拉动半导体流量计需求。
产业链核心节点：集成电路作为现代科技的核心部件，广泛应用于智能手机、电脑、汽车电子、物联网等多个领域。随着5G通信、人工智能、大数据等新兴技术的快速发展，市场对集成电路的需求持续攀升。特别是在5G智能手机的普及和物联网设备的广泛应用的推动下，集成电路的需求量大幅增加，这为中国集成电路产业的增长提供了广阔的市场空间。2025年1-8月，中国集成电路产量为3429.1亿块，同比增长20.53%。而在半导体制造过程中，气体与液体流量的精确控制至关重要，这使得半导体流量计成为制造设备中不可或缺的关键部件。随着集成电路产量的大幅增加，对半导体流量计的需求也相应增长。
市场规模：半导体流量计作为半导体制造过程中的关键部件，广泛应用于气体与液体流量的精确控制。随着中国半导体产业的快速发展，芯片制造、封装测试等环节持续扩张，对高精度、高性能半导体流量计的需求不断增加。2024年，中国半导体流量计行业市场规模为12.3亿元，同比增长9.82%。
竞争情况：当前，中国半导体流量计行业呈现“龙头企业引领、细分领域分化、国产替代加速”的竞争格局。以北京华丞电子、格里机电、芯笙微纳为代表的企业占据技术制高点，在质量流量控制器（MFC）领域实现进口替代，如华丞产品精度达±0.5%FS，适配28nm及以上制程，氦气回收率超92%，市场占有率突破30%。未来，随着半导体产能扩张与技术创新，行业将加速向“技术 服务”双轮驱动转型，龙头企业通过垂直整合强化竞争优势，新兴企业聚焦细分赛道实现差异化突围，整体呈现“强者恒强、专精特新崛起”的竞争态势。
需求趋势：未来需求将呈现“高精度、智能化、绿色化”三大趋势。高精度方面，随着3nm及以下制程需求增长，±0.1%FS精度将成为标配，适配纳米级沉积、蚀刻工艺。智能化方面，AI算法将深度融入流量预测与工艺优化，通过机器学习分析历史数据，动态调整流量参数，降低气体消耗30%以上。绿色化方面，氦气回收率将从92%提升至95%以上，减少稀有气体消耗，同时模块化设计支持设备快速升级与再制造，延长产品生命周期。此外，随着5G、AI、物联网等新兴技术发展，集成电路需求将持续增长，进一步拉动半导体流量计需求。
市场趋势：市场趋势方面，随着半导体产能扩张与技术创新，行业将加速向“技术 服务”双轮驱动转型，龙头企业通过垂直整合强化竞争优势，新兴企业聚焦细分赛道实现差异化突围。绿色制造趋势方面，企业通过优化设计降低能耗，循环经济模式推广，模块化设计支持设备快速升级与再制造，延长产品生命周期。政策趋势方面，《国家计量行动方案》推动高精度传感器研发，支持企业突破“双碳”目标下的绿色制造技术，形成“需求扩张-技术升级-成本优化”的良性循环，支撑半导体产业可持续发展。
报告相关内容节选：
【特别说明】1）内容概况部分为我司关于该研究报告核心要素的提炼与展现，内容概况中存在数据更新不及时情况，最终出具的报告数据以年度为单位监测更新。2）报告最终交付版本与内容概况在展示形式上存在一定差异，但最终交付版完整、全面的涵盖了内容概况的相关要素。报告将以PDF格式提供。
第1章半导体流量计产业综述/产业画像/研究说明
1.1 半导体流量计产业综述
1.1.1 半导体流量计的界定
1、流量计的定义及类型
2、半导体流量计的应用
3、半导体流量计的特征
4、半导体流量计的参数
1.1.2 半导体流量计的分类
1.1.3 半导体流量计所处行业
1.1.4 半导体流量计市场监管
1.1.5 半导体流量计标准规范
1.2 半导体流量计产业画像
1.3 半导体流量计研究说明
1.3.1 本报告研究范围界定
1.3.2 本报告权威数据来源
1.3.3 本报告研究统计方法
第2章全球半导体流量计行业发展概况及经验借鉴
2.1 全球半导体流量计发展历程/环境
2.1.1 全球半导体流量计发展历程/阶段
2.1.2 全球半导体流量计技术水平/现状
2.2 全球半导体流量计市场规模/体量
2.3 全球半导体流量计企业/供给现状
2.4 全球半导体流量计下游/市场需求
2.5 国外半导体流量计发展经验借鉴
2.6 全球半导体流量计市场前景预测
2.7 全球半导体流量计发展趋势洞悉
第3章中国半导体流量计行业发展现状及面临挑战
3.1 中国半导体流量计发展历程/阶段
3.2 中国半导体流量计市场规模/体量
3.3 中国半导体流量计企业类型/数量
3.4 中国半导体流量计企业产品/布局
3.5 中国半导体流量计产线/投资建设
3.6 中国半导体流量计产能/生产能力
3.7 中国半导体流量计产量/生产情况
3.8 中国半导体流量计厂商/合作客户
3.9 中国半导体流量计销售/需求现状
3.10 中国半导体流量计供求/价格水平
3.11 中国半导体流量计企业盈利能力
3.12 中国半导体流量计发展痛点及面临挑战
第4章中国半导体流量计市场竞争格局及投融资
4.1 中国半导体流量计行业竞争对手分析
4.1.1 中国半导体流量计现有竞争者的竞争程度
4.1.2 中国半导体流量计潜在竞争者的进入威胁
4.2 中国半导体流量计行业市场结构判断
4.3 中国半导体流量计行业竞争态势矩阵
4.4 中国半导体流量计市场竞争梯队分布
4.5 中国半导体流量计市场竞争格局分析
4.6 中国半导体流量计企业国内外竞争力
4.7 中国半导体流量计企业投资并购态势
4.8 中国半导体流量计企业融资情况
第5章中国半导体流量计技术进展及供应链分析
5.1 半导体流量计进入壁垒及核心竞争力
5.2 半导体流量计研发投入及技术研发力
5.3 半导体流量计关键技术及新质生产力
5.4 半导体流量计生产成本及供应链管理
5.5 配套供应链：半导体流量计原材料
5.6 配套供应链：半导体流量计零部件
5.7 配套供应链：半导体流量计生产设备
5.8 中国半导体流量计供应链现状及安全提升
第6章中国半导体流量计细分产品市场发展分析
6.1 半导体流量计产品对比/选型依据
6.2 半导体流量计细分市场发展现状
6.3 半导体流量计细分市场结构分析
6.4 半导体流量计细分市场：MFC/MFM（质量流量控制器/流量计）
6.5 半导体流量计细分市场：半导体液体流量计/超声波流量计
6.6 半导体流量计细分市场战略地位分析
第7章中国半导体流量计细分应用场景需求分析
7.1 半导体流量计细分应用需求特征
7.2 中国半导体产业发展现状
7.2.1 中国硅晶圆现有/规划产能
7.2.2 中国晶圆厂数量及扩产计划
7.2.3 中国晶圆制造市场规模体量
7.2.4 中国半导体主要产品生产量
7.3 中国半导体设备发展现状
7.3.1 半导体设备发展历程
7.3.2 中国半导体设备进口
7.3.3 半导体设备国产化进程
7.3.4 半导体设备市场规模体量
7.3.5 中国半导体设备占全球比重
7.3.6 中国半导体设备细分市场结构
7.4 半导体流量计应用场景：半导体CMP设备
7.4.1 半导体CMP设备流量计需求概述
7.4.2 半导体CMP设备流量计布局企业
7.4.3 半导体CMP设备流量计需求现状
7.4.4 半导体CMP设备流量计需求潜力
7.5 半导体流量计应用场景：半导体薄膜沉积设备
7.5.1 半导体薄膜沉积设备流量计需求概述
7.5.2 半导体薄膜沉积设备流量计布局企业
7.5.3 半导体薄膜沉积设备流量计需求现状
7.5.4 半导体薄膜沉积设备流量计需求潜力
7.6 半导体流量计应用场景：半导体清洗设备
7.6.1 半导体清洗设备流量计需求概述
7.6.2 半导体清洗设备流量计布局企业
7.6.3 半导体清洗设备流量计需求现状
7.6.4 半导体清洗设备流量计需求潜力
7.7 半导体流量计应用场景：半导体涂胶显影设备
7.7.1 半导体涂胶显影设备流量计需求概述
7.7.2 半导体涂胶显影设备流量计布局企业
7.7.3 半导体涂胶显影设备流量计需求现状
7.7.4 半导体涂胶显影设备流量计需求潜力
7.8 半导体流量计细分应用战略地位分析
第8章全球及中国半导体流量计典型企业案例分析
8.1 全球及中国半导体流量计企业梳理对比
8.2 全球半导体流量计企业案例分析
8.2.1 日本堀场HORIBA
1、企业简介
2、企业经营状况及竞争力分析
8.2.2 MKS万机仪器（MKSI）
1、企业简介
2、企业经营状况及竞争力分析
8.2.3 艾里卡特Alicat（英国豪迈国际）
1、企业简介
2、企业经营状况及竞争力分析
8.2.4 美国Brooks Automation布鲁克斯仪器
1、企业简介
2、企业经营状况及竞争力分析
8.2.5 富士金Fujikin
1、企业简介
2、企业经营状况及竞争力分析
8.3 中国半导体流量计企业案例分析
8.3.1 北方华创科技集团股份有限公司
1、企业简介
2、企业经营状况及竞争力分析
8.3.2 北京华丞电子有限公司（原北京七星华创流量计有限公司）
1、企业简介
2、企业经营状况及竞争力分析
8.3.3 先导科技集团有限公司（收购沃威仪器Warwick）
1、企业简介
2、企业经营状况及竞争力分析
8.3.4 沈阳富创精密设备股份有限公司（持股Compart肯发）
1、企业简介
2、企业经营状况及竞争力分析
8.3.5 青岛芯笙微纳电子科技有限公司（XINNOVIS）
1、企业简介
2、企业经营状况及竞争力分析
8.3.6 四川莱峰流体设备制造有限公司
1、企业简介
2、企业经营状况及竞争力分析
8.3.7 辽宁冠华半导体有限公司
1、企业简介
2、企业经营状况及竞争力分析
8.3.8 苏州爱拓利电子设备有限公司（AITOLY）
1、企业简介
2、企业经营状况及竞争力分析
8.3.9 陕西易度智能科技有限公司
1、企业简介
2、企业经营状况及竞争力分析
8.3.10 飞卓科技（上海）股份有限公司（FEEJOY飞卓）
1、企业简介
2、企业经营状况及竞争力分析
第9章中国半导体流量计行业政策环境/PEST/SWOT
9.1 中国半导体流量计行业政策汇总（P）
9.1.1 中国半导体流量计行业政策汇总
9.1.2 中国半导体流量计行业发展规划
9.1.3 国家半导体流量计重点政策
9.1.4 各地半导体流量计行业政策规划
9.2 中国半导体流量计行业经济环境分析（E）
9.3 中国半导体流量计行业社会环境分析（S）
9.4 中国半导体流量计行业PEST环境总结
9.5 中国半导体流量计行业SWOT分析图
第10章中国半导体流量计行业发展潜力及前景展望
10.1 中国半导体流量计行业发展潜力评估
10.2 中国半导体流量计行业未来关键增长点
10.3 中国半导体流量计行业发展前景预测
10.4 中国半导体流量计行业发展趋势洞悉
10.4.1 中国半导体流量计行业整体发展趋势
10.4.2 中国半导体流量计行业细分市场趋势
10.4.3 中国半导体流量计行业技术创新趋势
10.4.4 中国半导体流量计行业市场竞争趋势
10.4.5 中国半导体流量计行业市场供需趋势
第11章中国半导体流量计行业发展机遇及策略建议
11.1 中国半导体流量计行业投资风险预警
11.1.1 中国半导体流量计行业投资风险预警
11.1.2 中国半导体流量计行业投资风险应对
11.2 中国半导体流量计行业投资机遇分析——全产业链配套
11.2.1 不足：半导体流量计产业链薄弱点投资机会
11.2.2 欠缺：半导体流量计产业链空白点投资机会
11.3 中国半导体流量计行业投资机遇分析——细分领域布局
11.3.1 中游：半导体流量计细分产品/服务布局机会
11.3.2 下游：半导体流量计细分应用/场景布局机会
11.4 中国半导体流量计行业投资机遇分析——优势区域布局
11.4.1 国内：半导体流量计省市/区域投资布局机会
11.4.2 海外：半导体流量计海外/出海投资布局机会
11.5 中国半导体流量计行业投资价值评估
11.6 中国半导体流量计行业投资策略建议
11.7 中国半导体流量计行业可持续发展建议
图表目录
图表1：流量计的定义及类型
图表2：半导体流量计的特征
图表3：半导体流量计的分类
图表4：半导体流量计所处行业
图表5：半导体流量计市场监管体系
图表6：半导体流量计行业监管机构
图表7：半导体流量计标准体系建设
图表8：半导体流量计现行标准汇总
图表9：半导体流量计产业链结构示意图
图表10：半导体流量计产业链生态全景图
图表11：半导体流量计产业链区域热力图
图表12：本报告研究范围界定
图表13：本报告权威数据来源
图表14：本报告研究统计方法
图表15：全球半导体流量计发展历程/阶段
更多图表见正文……
