半导体专用工艺废气处理设备是指在半导体制造过程中，用于收集、净化和排放由晶圆加工、光刻、刻蚀、沉积等工序产生的各类有害气体的专用设备。这些设备通过物理吸附、化学反应、燃烧分解等方式，将废气中的有毒物质转化为无害或低害物质，从而达到环保法规的要求，同时减少对生产环境的影响。2024年，中国半导体专用工艺废气处理设备市场规模约为75亿元人民币，同比增长18%，增速较上年有所提升，主要得益于国内半导体产业的持续扩张以及政策对环保要求的不断加码。从市场需求结构来看，晶圆制造厂是废气处理设备的主要采购方，占比超过65%；封装测试企业，占比约25%。随着第三代半导体材料（如碳化硅和氮化镓）的广泛应用，相关领域的废气处理需求也呈现快速增长态势。中国半导体专用工艺废气处理设备行业呈现出以下几个特点：技术门槛较高，市场集中度较强。头部企业凭借先进的技术和稳定的性能占据了较大市场份额，其中本土龙头企业已逐步实现国产替代，部分产品性能甚至接近国际领先水平。随着国家“双碳”目标的推进，废气处理设备不仅需要满足基本的排放标准，还必须兼顾能耗优化和资源回收利用。例如，一些新型设备已经能够实现废气中有价值成分（如氟化物、氯化物）的回收再利用，进一步降低了企业的综合运营成本。行业发展仍面临一定挑战。一方面，高端废气处理设备的核心零部件和技术仍依赖进口，这限制了本土企业在国际市场上的竞争力；由于不同半导体工艺产生的废气成分复杂且差异较大，通用性解决方案难以完全覆盖所有场景，定制化开发成为必然趋势，但这也增加了企业的研发成本和周期。展望中国半导体专用工艺废气处理设备行业将继续保持高速增长，预计到2028年市场规模将突破150亿元人民币，年均复合增长率超过15%。这一增长动力主要来源于以下几个方面：一是国内半导体产能扩张带来的新增需求。截至2024年底，全国已有超过30个新建或扩建的12英寸晶圆厂项目，这些项目将直接拉动废气处理设备的需求。二是存量市场的升级改造需求。随着环保法规日益严格，许多早期建设的工厂需要对现有废气处理系统进行升级换代，以满足更高的排放标准。三是技术创新驱动下的新应用场景拓展。例如，针对极紫外光刻（EUV）等先进制程产生的特殊废气，行业正在加速开发针对性更强的处理方案。数字化转型也将成为行业发展的新亮点。通过引入物联网、人工智能等技术，废气处理设备可以实现远程监控、故障预警和智能运维，显著提升运行效率和维护便利性。模块化设计和标准化生产将成为降低成本、缩短交付周期的重要手段，为中小企业提供更多参与机会。中国半导体专用工艺废气处理设备行业正处于快速发展阶段，机遇与挑战并存。本土企业需持续加大研发投入，突破关键技术瓶颈，同时积极布局全球化市场，以在全球半导体产业链中占据更加重要的位置。

博研咨询发布的《2025-2031年中国半导体废气处理设备行业市场运行格局及投资机会研判报告》共十一章。首先介绍了半导体废气处理设备行业市场发展环境、半导体废气处理设备整体运行态势等，接着分析了半导体废气处理设备行业市场运行的现状，然后介绍了半导体废气处理设备市场竞争格局。随后，报告对半导体废气处理设备做了重点企业经营状况分析，最后分析了半导体废气处理设备行业发展趋势与投资预测。您若想对半导体废气处理设备产业有个系统的了解或者想投资半导体废气处理设备行业，本报告是您不可或缺的重要工具。

本研究报告数据主要采用国家统计数据，海关总署，问卷调查数据，商务部采集数据等数据库。其中宏观经济数据主要来自国家统计局，部分行业统计数据主要来自国家统计局及市场调研数据，企业数据主要来自于国家统计局规模企业统计数据库及证券交易所等，价格数据主要来自于各类市场监测数据库。